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南大光电:目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨
发布时间: 2021-05-12 12:45
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南大光电(300346)

原标题:南大光电:目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨

  南大光电(300346)接受机构调研时表示,公司ArF光刻胶产品开发和产业化项目,目前已完成25吨光刻胶生产线建设,主要先进光刻设备,如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。2020年底,公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过下游客户的使用认证,成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,产业化取得关键突破,拿到国产光刻胶的首个订单,实现小批量销售。

(文章来源:e公司)

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