晶盛机电消息，日前，晶盛机电外延设备研究所自主研发的8英寸单片式硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉(4英寸工艺)通过客户验收。同时，晶盛自主研发的6英寸碳化硅外延炉4英寸工艺也获得客户验收，现进行6英寸工艺调试，目前工艺验证顺利进行。
（文章来源：e公司）
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