晶盛机电(300316)9月16日在互动平台表示，公司较早启动了对碳化硅等第三代半导体材料设备的研发。目前自主研发的碳化硅单晶炉已经实现销售，外延设备已经取得客户技术验证通过。
（文章来源：证券时报）
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