原标题：华特气体与中国核工业集团旗下公司签订高纯三氟化氯研发合作协议

　　华特气体与中国核工业集团有限公司全资孙公司四川红华实业有限公司签订高纯三氟化氯研发合作协议。双方拟共同研发高纯三氟化氯的核心技术，一举打破国外垄断市场的局面，使高纯三氟化氯快速实现国产化替代。注：高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗，由于其高氟碳比和较强的氟离子自由基，在先进制程中的应用越来越广泛，特别在14nm以下制程中，是不可替代的新型蚀刻材料。

（文章来源：界面新闻）