核心观点

    具有全球竞争力的刻蚀设备和MOCVD 设备企业，业绩持续向好：公司是科创板首批上市企业之一，主要生产集成电路刻蚀设备和LED MOCVD 设备。刻蚀设备方面，公司先后开发了电容性和电感性等离子体刻蚀机。MOCVD 设备方面，公司早期产品应用于蓝绿光LED 及功率器件，后续扩展到深紫外LED 和高端miniLED 领域。受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021 年公司实现营收31 亿元，同比增长37%，实现归母净利润10.1 亿元，同比增长105%。

    国产替代叠加产能扩张，公司刻蚀设备迎来机遇：从下游端看，以物联网为代表的新兴应用驱动半导体产业新一轮增长，衍生出巨大的设备市场需求。从技术端看，芯片制程升级和工艺改进对刻蚀设备的数量和质量提出更高要求。从需求端看，受全球贸易摩擦影响，国产设备受到国内晶圆厂商的青睐。公司刻蚀设备已进入台积电等国际一流晶圆厂，并逐步打破国际刻蚀巨头在国内的垄断。以长江存储为例，其2020 年公开招标的刻蚀设备中，中微公司中标占比为14%，位列第二。

    LED 应用广阔，带动MOCVD 设备业绩增长：mini/micro LED 正成为显示技术的发展方向。当前miniLED 技术正逐步成熟，在中高端液晶显示屏背光、 LED 显示屏得到大规模应用。此外，用于消毒杀菌领域的深紫外LED 有着巨大的市场机遇。公司已推出应用于深紫外LED 外延片生产的Prismo HiT3设备和应用于miniLED 的Prismo UniMax设备，带来新业绩增长点。2021 年12 月公司Prismo UniMax

    MOCVD 设备订单已超100 腔。

    内生外延，打造平台化公司：内生发展方面，公司已组建团队开发EPI 和LPCVD设备；外延布局方面，公司已投资睿励仪器（检测）、拓荆科技（薄膜沉积）和理想万里晖（太阳能电池）等公司，并积极探索其他合资与合作机会。

    盈利预测与投资建议

    我们预测公司2022-2024 年每股收益分别为1.58、2.23、3.11 元，22 年每股收益下滑主要因为考虑到非经常性损益的不确定性，我们对非经常性损益项目进行了保守预测。考虑到刻蚀设备国产替代空间广阔，采用绝对估值法（FCFF），给予172.28元目标价，首次给予买入评级。

    风险提示

    刻蚀设备国产化进度不及预期；半导体设备行业景气度不及预期； miniLED 需求不及预期；政府补助下滑风险；零部件断供风险。

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