核心观点：

    　　受益半导体设备市场高景气，公司业绩高速增长。公司公告2021 年报，2021 年，公司实现营收31.08 亿元，YoY+36.72%，归母净利润10.11亿元，YoY+105.49%，得益于公司产品的突出竞争力和半导体设备市场的高景气，公司业绩实现高速增长。公司产品的市场和客户拓展加速推进，2021 年，公司新签订单金额41.3 亿元，YoY+90.5%，产品运付腔体491 腔，YoY+66.4%，合同负债13.72 亿元，YoY+131.76%。

    　　刻蚀和MOCVD 业务齐头并进，市场优势地位进一步强化。公司CCP设备继续保持领先地位，在5nm 逻辑产线和128 层3D NAND 产线广泛应用并获得重复订单，21 年生产运付CCP 设备298 腔，YoY+40%。

    　　公司ICP 设备加速起量，相关刻蚀产品已在超过15 家客户的生产线上进行100 多个ICP 刻蚀工艺的验证，21 年生产付运ICP 设备134 腔，YoY+235%。同时，公司已成为GaN 基LED 市场份额最大的MOCVD设备供应商，Mini LED 用Prismo UniMax? MOCVD 设备近日获得兆驰股份52 腔采购订单，目前公司该设备订单已超180 腔。

    　　内生外延双轮驱动，推进公司平台化布局。公司积极配合客户需求，开展下一代逻辑和存储工艺的刻蚀设备开发，并持续布局Micro LED、GaN 功率器件MOCVD 设备。新开发的LPCVD 钨沉积设备可满足先进逻辑和128 层3D NAND 的多个关键应用，且公司也在布局EPI、ALD 设备，以满足客户在的新技术节点对沉积设备的需求。同时，公司兼顾外延发展，21 年完成对睿励仪器的增资，进一步巩固产业链协同效应，完善公司业务布局。

    　　盈利预测与投资建议。预计公司22-24 年归母净利润为11.28/14.51/17.14 亿元，对应PE 为64/50/42 倍，参考可比公司估值，给予公司22 年75 倍PE，合理价值为137.2 元/股，给予“买入”评级。

    　　风险提示：下游投资波动风险；供应链产能紧张风险；知识产权风险。

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