中微公司发布2022 一季报，22Q1 收入9.5 亿元，环比-8%，其中刻蚀设备收入7.14 亿元，环比+9.5%；22Q1 扣非归母净利润1.86 亿元，环比+17%。公司当前在手订单饱满，同时后续预计推出多款新品，我们看好中微公司未来成长性，维持“审慎推荐-A”评级。

    22Q1 收入超预期，净利润水平环比表现持续优化。中微公司22Q1 实现收入9.49亿元，同比+57%/环比-8%，环比小幅下滑，相较半导体板块其他设备公司环比表现亮眼；22Q1 毛利率为45.5%，同比+4.5ppts/环比+0.8ppt，环比提升得益于高毛利率的刻蚀设备占比提升；22Q1 归母净利润为1.17 亿元，同比-15%/环比-75%，同比/环比下滑主要系非经常损益减少（22Q1 政府补助为0.04 亿元，21Q1位1.69 亿元，21Q4 为0.89 亿元；22Q1 持有中芯国际等股权产生的公允价值变动损失为1.01 亿元，21Q1 亏损0.24 亿元，21Q4 收益超2 亿元）；22Q1 扣非归母净利润为1.86 亿元，同比+1578%/环比+16.9%，主要得益于毛利率的提升。

    分产品看，ICP 持续放量推动刻蚀设备维持环比增长，MOCVD 设备受订单确认时点影响环比下滑。①刻蚀设备：22Q1 收入7.14 亿元，同比+105%/环比+9.5%，主要系在手订单充足，ICP 设备放量。公司2021 全年新签订单41.3 亿元，21Q4新签订单6.1 亿元，其中ICP 设备增速较快，预计刻蚀设备中ICP 占比不断提升。

    刻蚀设备毛利率较高，21Q4 达45.3%，22Q1 整体毛利率环比上行说明刻蚀设备毛利率仍在上行；②MOCVD 设备：22Q1 收入0.42 亿元，同比-69%/环比-79%，主要系规模订单在本季尚未确认收入，但看好2021 新签规模订单贡献2022 全年收入增量。

    公司新品客户推广及开发顺利，2022 年有望保持高增长态势。①CCP 新品即将推出：原有产品在部分客户市场市占率已进入前三，公司在2022 年前后预计推出两款CCP 新应用（大马士革和极高深宽比刻蚀），大马士革工艺有望覆盖5nm及以下，CCP 介质刻蚀机在实验室中达到的深宽比超60:1，多晶硅刻蚀等新品加速开发中。刻蚀新品推出后预计中微可覆盖80%以上刻蚀工艺；②ICP 设备获得重复订单，逐步切入逻辑客户：Primo nanova 设备在超过15 家客户进行了100多个工艺验证，双反应台新品已完成验证，深硅刻蚀设备获得重复订单，公司预计ICP 设备后续将逐步从存储切入5nm 以下逻辑客户，收入增速预计显著高于CCP 设备；③薄膜沉积设备新品开发顺利：面向Mini LED 的MOCVD 新品实现量产，已收到国内外批量订单合计超100 腔，预计在2022~2024 年逐步推出LPCVD 设备和EPI 设备等新品。

    增资上海睿励加大泛半导体设备平台化布局力度。公司决定以现金方式对上海睿励增资1.08 亿元，持股比例将由20.45%提升至29.36%，本次增资彰显中微在泛半导体设备领域加大布局力度。上海睿励主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，自主研发的12 寸光学测量设备TFX3000 系列产品，已应用在65/55/40/28nm 生产线并在进行14nm 工艺验证，在3D 存储芯片产线支持64 层3D NAND 芯片的生产，并正在验证96 层3DNAND 芯片的测量性能，公司正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和 OCD 测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备。2021 年上海睿励实现收入4084 万元，扣非归母净利润亏损3541 万元。

    投资建议：考虑到公司在手订单充足，新品拓展较为顺利，我们预计公司22/23/24年营业收入为42.95/53.58/63.23 亿元，归母净利润为9.03/11.77/14.44 亿元，对应PS 为14.04/11.25/9.54 倍，维持“审慎推荐-A”评级。

    风险提示：LED 下游需求不及预期、国内晶圆厂扩产不及预期、海外客户拓展不及预期、新品拓展不及预期、刻蚀设备行业竞争加剧的风险。

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