事件

    　　8 月21 日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购股份方案的公告，拟用不低于人民币3,000 万元（含），不超过人民币6,000万元（含）回购股份用于实施股权激励。

    　　9 月27 日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告，截至2023 年9 月27 日，公司本次回购已累计回购股份74.946 万股。

    　　投资要点

    　　回购股份用于未来股权激励，彰显公司信心。8 月21 日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购股份方案的公告，拟用不低于人民币3,000 万元（含），不超过人民币6,000 万元（含）回购股份用于实施股权激励；回购价格为不超过人民币44.42 元/股（含），该价格不高于公司董事会通过回购决议前30 个交易日公司股票交易均价的150%；回购期限为自董事会审议通过本次回购股份方案之日起6 个月内，即2023 年8 月21 日至2024 年2 月20日。9 月27 日，公司披露关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告，截至2023 年9 月27 日，公司本次回购已累计回购股份74.946 万股，占公司总股本的比例为0.1938%，购买的最高价为26.94 元/股、最低价为26.50 元/股，已支付的总金额为2,000.068 万元（不含印花税、佣金等交易费用）。回购的股份将在未来适宜时机全部用于股权激励，以进一步建立、健全公司长效激励机制和利益共享机制，充分调动公司员工的积极性，吸引和留住优秀人才，提升企业凝聚力和核心竞争力，促进公司健康可持续发展。

    　　营收利润稳增长，充沛在手订单支撑未来业绩。23H1 公司现收入14.80 亿元，同比+32.13%；实现归属于母公司所有者净利润1.09 亿元，同比+33.67%；23H1 末总资产为112.81 亿元，较上年末+14.67%。截至23H1，公司新增订单总额为32.66 亿元，同比+38.28%，新增订单中73.65%为半导体行业，其余为泛半导体和生物医药行业；截至23H1 末，在手订单53.23 亿元，充沛在手订单支撑未来业绩。23H1 公司业务取得瞩目表现：

    　　1）制程设备业务深度继续抵进。公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28nm 节点已全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。

    　　至微的S300 SPM 机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12 英寸逻辑量产线，月产能最高可达6 万片次以上，目前至微是国内单片硫酸设备（湿法设备中难度最高的工艺机台）达到上述单机台量产指标的唯一厂商。成熟制程方面，公司湿法设备产品线有序拓展，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。先进制程方面，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但对于高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司的交付和验证进度国内领先。

    　　2）以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务订单再创新高。

    　　公司已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。

    　　3）电子材料及核心零部件业务稳步推进。23H1 公司的大宗气业务已经稳定创收；同时，大宗气站的新业务拓展进程顺利。由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化的12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破国际供应商对先进制程大宗气的垄断，实现国内自主大宗气站零的突破。另外，合肥的晶圆再生和腔体部件再生的业务量开始进入稳定爬坡；TGM/TCM 的驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证。公司也已开始布局电子材料方面。

    　　投资建议

    　　我们预计公司2023/2024/2025 年分别实现收入41/51/61 亿元，实现归母净利润分别为4.74/6.56/8.30 亿元，当前股价对应2023-2025 年PE 分别为22 倍、16 倍、13 倍，首次覆盖，给予“买入”评级。

    　　风险提示

    　　行业发展风险；经营风险；人力资源和管理风险；各类金融风险。

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