中科飞测专注于高端量检测设备，产品种类丰富。中科飞测主营产品为检测和量测两大类半导体专业设备，自2014 年成立以来，陆续突破多项量检测设备。1）从产品种类来看：目前公司已形成6 大产品系列，分别是图形晶圆缺陷检测设备、3D 曲面玻璃量测设备、三维形貌量测设备、无图形晶圆检测设备、套刻精度量测设备和薄膜膜厚量测设备，对应的量检测设备市场空间占比为27.2%，同时公司正在研发纳米图形晶圆缺陷检测设备、晶圆金属薄膜量测设备等。2）从产品工艺节点来看：公司已量产多款28nm 及以上量检测设备，2Xnm 套刻精度量测设备正在验证，已取得客户订单，1Xnm 无图形晶圆检测设备处于研发中，处于国内领先地位。

    大陆量检测设备市场规模超25 亿美元，设备技术壁垒高，海外厂商具有先发优势，大陆自给率不足3%。1）市场规模：大陆是半导体量检测设备的第一大市场，受益于下游晶圆厂大幅度扩产，量检测设备市场仍在迅速扩张中。VLSI Research 数据显示，2021 年中国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为25 亿美元，2016-2021 年CAGA为29.3%，超过了全球市场的增长率。2）技术壁垒：为提高检测精度与检测效率，对设备硬件端的要求越来越高，设备的光源波长不断缩短、物镜数值孔径不断增加、工件台速度不断提升，均需要厂商有较长时间的技术积累。此外，对大数据检测算法的要求也在提升，而算法需要较长时间的数据训练。3）竞争格局：目前大陆量检测设备市场被美日公司垄断，其中KLA 一马当先，占比超50%，大陆国产化率不足3%。随着大陆半导体产业重视程度的提升，大陆厂商正奋起直追，有望乘上国产替代之风。

    公司持续提升产品广度与深度，部分产品性能对标海外龙头。1）布局多款产品，有望进一步打开市场空间。公司已推出的设备对应的市场规模占量检测设备总市场规模的27.2%。正在研发多款新产品，待产品研发成功后，公司产品将进一步打开市场空间，所对应的市场规模占比将达到62.6%。2）细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外龙头。中科飞测攻克了20-14nm 产线晶圆缺陷在线光学检测设备多项核心技术并研发了无图形晶圆缺陷检测设备S2，该设备已部分取代KLA 半导体的Surfscan SP3 产品。

    此外针对集成电路前道制程，公司自主创新生产三维形貌量测设备C2，也已实现对帕克公司NX Wafer 产品的部分替代。3）在手订单高增，产品陆续进入大陆主流集成电路厂商生产线。2021 年公司在手订单金额为9.8 亿元，是当期主营业务收入的2.7 倍，同比增长281%，公司业绩即将步入加速成长期。同时，公司凭借产品性能优质，积累了优质客户资源，客户包括中芯国际、华润微、长江存储等头部厂商。当前美国制裁不断升级，大陆晶圆厂正在加速导入国产化设备，公司业务规模有望持续增长。

    投资建议：我们预计中科飞测2023-2024 年将实现营收业收入为7.66/11.44/16.25 亿元，对应PS 为10/7/5X。中科飞测作为我国量检测设备领先企业，受益于下游晶圆厂大幅扩产及国产替代的加速推进，预计未来营收将有大幅度提升，首次覆盖给予“买入”评级。

    风险提示：公司产能扩张不及预期，下游需求不及预期，行业竞争加剧的风险，研报使用信息更新不及时产生的风险。

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