核心观点：

    　　23 年订单、业绩快速增长，24Q1 机台发货量有较大增长。公司发布23 年报。23 年，公司营收约62.64 亿元，yoy+32.15%。其中，23 年刻蚀设备销售约 47.03 亿元，yoy+ 49.43%，MOCVD 设备销售约4.62 亿元，yoy-33.95%。公司23 年归母净利润为17.86 亿元，yoy+52.67%；23 年公司新增订单约83.6 亿元，yoy+32.3%。其中，刻蚀设备新增订单约69.5 亿元，yoy+60.1%，MOCVD 设备新增订单约2.6 亿元，由于终端市场波动影响，yoy-72.2%。公司合同负债7.72亿元，qoq-5.94 亿元，主要为时间性因素。23Q4 因收入确认合同负债余额随之减少，同时，23Q4 因销售合同等因素，出货量不多，导致预收款增量不多，公司机台发货量在 24 Q1 有较大增长。23Q4，公司营收22.22 亿元，yoy+30.97%，qoq+46.71%，归母净利润6.26 亿元，yoy+66.14%，qoq+299.11%。

    　　高端刻蚀产品突破稳步推进，加速沉积业务线多元化布局。根据公司23 年报，公司刻蚀设备覆盖国内95%以上的应用需求，部分机台应用于5nm 等先进制程，23 年市占率大幅提升。其中，大马士革刻蚀设备验证顺利，同时，公司针对超高深宽比刻蚀自主开发的具有大功率400kHz 偏压射频的 Primo UD-RIE 已经在生产线验证出具有刻蚀≥60:1 深宽比结构的能力。公司计划在 24 年推出超过 10 款新型薄膜沉积设备，在薄膜沉积领域快速扩大产品覆盖度。公司新开发的硅和锗硅外延 EPI 设备、晶圆边缘 Bevel 刻蚀设备等多个新产品，也计划在 2024 年投入市场验证。

    　　盈利预测与投资建议。预计公司归母净利润21.67/26.64/34.26 亿元，维持公司合理价值222.62 元/股的观点不变，维持“买入”评级。

    　　风险提示。行业周期波动；客户拓展不及预期；市场竞争加剧。

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