本报告导读：

    　　公司刻蚀设备优势明显，同时积极推进MOCVD设备和薄膜沉积设备，订单高速增长，业绩有望持续高增。

    　　投资要点：

    　　维持增持” 评级，上调目标价164 元。公司刻蚀设备加速增长，薄膜沉积设备稳步推进，业绩进入增长快车道，上调其2022-2024 年EPS 为1.78/2.34/2.97 元（原预测2022-2023 年为1.75/2.11 元）。考虑ICP 双机台优势明显，国内产线渗透加速推进，给予其2023 年70 倍PE，目标价164 元。

    　　在手订单充足，ICP 加速上量。1H22 营收19.72 亿元，YoY+47.30%，扣非归母净利润4.41 亿元，YoY+615.26%。毛利率45.36%，同比增长3.03pcts，主要系刻蚀设备毛利率的提高。ICP 收入 4.13 亿元，同比+414.1%，CCP 收入8.86 亿元，，在主要客户中市占率达到30%以上。截至22 年6 月，共计新签订单30.57 亿元，同比增长61.83%，下半年业绩有望维持高增。

    　　CCP新型号持续开发， ICP双台优势显著，公司刻蚀设备业绩高速增长。开发新型CCP，涵盖5nm 以下逻辑芯片和200 层以上3D NAND存储芯片。开发新型ICP，涵盖7nm 及以下的逻辑、17nm 及以下的DRAM 和3D NAND 存储，优化开发双台ICP 刻蚀设备。

    　　Mini LED用MOCVD设备陆续放量，薄膜沉积设备验证稳步推进。

    　　公司积极开发针对Mini LED 和Micro LED 的uniMAX 设备，相关LPCVD 等薄膜沉积设备进入量产验证阶段，EPI 设备进入样机的制造和调试阶段。

    　　风险提示：下游晶圆产能扩充不及预期；新品研发和产业化不及预期。

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