2022 年12 月17 日，芯源微正式发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300。目前公司拥有offline、I-line、KrF、ArFi 等机型，国内前道涂胶显影机龙头地位进一步巩固，长期增长动力充沛，维持“增持”评级。

    公司正式发布浸没式高产能涂胶显影机台，可实现每小时300 片以上产能。2022年12 月17 日，芯源微正式发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300，产品满配36 Spin 处理单元，搭载公司自主研发的双向同步取放机械手，能够匹配全球主流光刻机联机生产，可在复杂工艺下实现300 片以上产能。此外，机台还搭载了公司开发的精确温度调制（PTM）技术，使热盘烘烤温度均匀性达到业界领先水平；全新的Spin 单元实时控制技术，可有效提升机台运动控制及流体控制精度、响应性及稳定性；通过仿真优化设计整机流场，确保内部微环境均匀稳定，提升整机的洁净度等级；全系列辅助功能单元，包含AOI、WEE 系统等，可在线式检测晶圆工艺缺陷，减少不良品流出。

    公司前道Track 产品矩阵进一步完善，将实现在前道晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点的全覆盖。该款机型通过选配可全面覆盖KrF、ArF dry、ArF 浸没式等多种光刻技术，也适用包括SOC、SOH、SOD 等在内的其他旋涂类应用。为应对未来光刻机产能的不断提升，该机型还可扩充至更多处理单元，由目前的36Spin 扩展为48 Spin，产能提升到每小时360 片。

    前道Track 多产品线获得批量重复订单，未来有望进一步推出前道化学清洗机。

    公司前道offline、I-line、KrF 均量产，其中I-Line、KrF 获得多个头部客户批量订单，如今ArFi 机台正式推出，巩固公司国内前道Track 龙头地位；公司前道物理清洗获得大客户批量重复订单，未来将进一步推出前道化学清洗机，并预计逐步拓展中国台湾及海外市场。

    投资建议。芯源微正式推出前道浸没式Track 机台，进一步巩固国内涂胶显影龙头地位，并且未来将进一步推出前道化学清洗机。展望未来2-3 年，公司前道产品有望持续放量，收入将保持健康增长态势，我们预计2022/23/24 年公司营收为13.20/18.75/24.11 亿元，对应PS 为13.1/9.2/7.2 倍，同时预计2022/23/24 年归母净利润为1.89/2.38/3.12 亿元，对应PE 为91.5/72.9/55.6，维持“增持”评级。

    风险提示：后续晶圆厂资本支出不达预期、疫情反复、客户验证及导入不及预期、新工艺研发进展不及预期、产能扩张进展不及预期的风险。

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