本土量测检测设备领军者，业绩持续快速增长。公司是半导体质量控制设备龙头，专注光学量测检测技术，产品覆盖无图形/图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、膜厚量测等，成功供货中芯国际、长江存储等主流客户，打破国外厂商垄断局面。

    　　22 年公司实现营收5.09 亿元，归母净利润0.12 亿元，23Q1~Q3 实现营收5.88亿元，归母净利润0.79 亿元。公司预计23 年实现收入8.5-9.0 亿元，归母净利润预计为1.15-1.65 亿元，公司收入、盈利大幅提升。

    　　量检测设备空间广阔，国产替代势在必行。半导体量测检测设备贯穿晶圆制造和先进封装全过程，市场空间广阔。2020 年，量测检测设备全球市场规模76.5 亿美元，同比增长20%，其中中国大陆市场规模为21.0 亿美元、占比27.4%，同比增长24%。量检测设备领域KLA 一家独大，在中国大陆市场销售额占比54.8%，其次是应用材料和日立，美日欧的份额分别不低于64%/11%/3%，国产化率低。作为良率控制核心设备，量测检测设备的国产替代势在必行。

    　　专注光学技术路线，无图形晶圆缺陷检测优势明显，量测业务布局广泛。公司深耕的光学量检测技术在量检测设备市场中应用最广泛，2020 年应用光学检测技术的量检测设备销售额占所有量检测设备的份额为75.2%，具有领先优势。

    　　（1） 检测业务：无图形晶圆缺陷检测产品线成熟、优势明显，可媲美国际主流厂商KLA。公司已有SPRUCE-600/800 两款量产出货，分别对应130nm 及以上/2Xnm 及以上节点，1Xnm 工艺节点的检测设备研发进展顺利。目前图形晶圆缺陷检测设备为亚微米量级，主要用于先进封装环节的晶圆出货检测，客户订单稳步增长，市占率不断提升。应用在2Xnm 工艺节点的明场和暗场检测设备研发进展顺利。

    　　（2） 量测业务：布局广泛，多款新设备密集研发/验证中。公司量测领域已有三维形貌量测设备（对应2Xnm 及以上制程工艺）、3D 曲面玻璃量测设备、膜厚量测设备、套刻精度量测批量出货。应用在2Xnm 工艺节点的关键尺寸量测设备研发进展顺利。

    　　盈利预测、估值与评级：公司是国内量检测领域体量最大的公司，检测业务优势明显、客户群优质、产品线不断完善，未来成长性高。全球技术主权竞争将加速量检测设备国产化，中科飞测有望率先受益。预测公司23~25 年收入分别为8.70/12.95/18.70 亿元，归母净利润分别为1.37/2.35/3.60 亿元，对应EPS 分别为0.43/0.73/1.12 元，首次覆盖给予“增持”评级。

    　　风险提示：新产品研发或验证进度不及预期，下游客户需求放缓，次新股股价波动风险。

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