芯源微发布2022 年报，全年收入13.85 亿元，同比+67.1%；归母净利润2 亿元，同比+158.8%。公司全年新签订单22 亿元，前道Track、清洗等新品持续拓展，维持“增持”评级。

    　　2022 年各产品线持续放量，全年收入业绩同比高增长。2022 全年收入13.85 亿元，同比+67.1%，其中涂胶显影设备收入7.57 亿元，同比+49.6%，单片湿法设备收入5.5 亿元，同比+90%；毛利率38.4%，同比+0.3ppt，其中涂胶显影毛利率34.7%，同比-3.3ppts，单片湿法设备毛利率39.2%，同比+3.7ppts；公司全年归母净利润2 亿元，同比+158.8%；扣非归母净利润1.37 亿元，同比+115%；全年扣非净利率为9.9%。非经常收益主要为政府补助、商业秘密维权赔偿金等。

    　　全年新签订单同比高增长，当前在手订单较为饱满。公司2022 全年新签订单22亿元，同比大幅增长。半导体设备成熟机台验证周期一般数个月，DEMO 机台验证周期更长，公司在手订单较为饱满，前道offline、I-line、Krf 等产品处于放量阶段，ArFi 尚未规模量产，因此展望2023-2024 年收入仍有望保持较高增长态势。

    　　前道Track 实现28nm 以上制程全覆盖，清洗、封装、小尺寸产品不断迭代。1）前道Track：offline、I-line、KrF 机台均实现批量销售，22Q4 推出ArFi 机台并获得国内多家厂商订单，超高温Barc 机台实现客户导入；ArFi 新品于22Q4 在国内某客户完成验证并顺利验收，公司目前前道Track 实现28nm 以上节点全覆盖；2）前道清洗：物理刷片清洗机Spin Scrubber 成为国内晶圆厂baseline 产品，2022 全年销售近百套；公司在高产能清洗架构、颗粒去除能力等指标上实现进一步提升；化学清洗机研发测试在沈阳厂区进展顺利；3）先进封装：批量用于台积电、长电、华天、通富等厂商，全年销售超百台套，并加深与盛合晶微、长电绍兴、上海易卜等的合作；Chiplet 催生更多后道涂胶显影、湿法类工艺需求，并且公司成功研发临时键合机、解键合机产品，正在客户端验证；4）化合物、MEMS、LED 等小尺寸领域：全年销售超百台套，公司为三安集成的主力供应商，市场地位进一步巩固；在SiC 领域，公司推出性价比更高6 寸的涂胶显影机，满足产能>100WPH 的光刻机联机产能。

    　　产能持续扩张，零部件等供应链安全持续强化。产能方面，公司上海临港子公司厂区建设进入机电设备安装阶段，计划于23Q4 投入生产；零部件方面，热盘和机械手已实现国产替代，胶泵等其他零部件国产替代加速进行。

    　　投资建议。芯源微2022 年新签订单22 亿元，当前整体在手订单较为饱满，展望2023 年，公司前道Track 机台有望持续放量，收入将保持健康增长态势。我们预计公司2023/2024/2025 年营收为18.75/24.11/29.44 亿元， 对应PS 为14.3/11.6/9.1 倍， 预计归母净利润为2.47/3.09/4.52 亿元， 对应PE 为108.6/87.0/59.5，维持“增持”评级。

    　　风险提示：后续晶圆厂资本支出不达预期、客户验证及导入不及预期、新工艺研发进展不及预期、产能扩张进展不及预期的风险。

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