有投资者在投资者互动平台提问:您好,请问贵公司的场发射扫描电镜可以检测半导体晶圆刻度质量、晶格结构吗?
钢研纳克(300797.SZ)9月18日在投资者互动平台表示,公司子公司纳克微束生产的场发射扫描电镜根据不同的选配模块及工作方式,分辨率达到了纳米级。
(文章来源:每日经济新闻)
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