国内量检测设备龙头企业，未来充分受益国产替代加速检测与量测设备作为半导体设备中的重要一环，难度较高，2020 年中国大陆半导体量检测设备的市场规模为21 亿美元，国产化率约为2%。中科飞测主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备等，已应用于国内 28nm及以上制程的集成电路制造产线。我们看好2024 年下游存储、代工厂扩产进程、公司产品矩阵扩展及国产替代顺利导入，预计公司23/24/25 年收入为8.9/13.0/18.7 亿元。可比公司24 年PS 为9.2 倍，考虑半导体检测和量测设备国产替代空间广阔、公司的龙头地位优势及成长性，给予一定估值溢价，首次覆盖中科飞测给予“买入”评级，目标价89.03 元（24 年22x PS）。

    全球半导体设备周期回暖，贸易摩擦催化国产化进程SEMI 预测2024 年全球半导体设备销量或时隔两年转降为增，较2023 年增长4%，至1053 亿美元；2025 年将保持增势，达到创历史新高的1240亿美元。除此以外，我们看到自2022 年10 月7 日美国商务部宣布限制中国进口可用于加工14/16nm 及以下逻辑芯片、18nm 及以下的DRAM 芯片和128 层及以上的NAND 芯片的设备，日本及荷兰亦相继出台相关设备出口政策，近两年国产厂商设备进口边际收紧。受此影响各类厂商正积极进行国产设备导入及验证，2020 年大陆量检测设备国产化率约为2%，国产替代空间广阔。

    公司持续拓宽产品与工艺覆盖，高技术壁垒保障龙头地位稳固我们看好中科飞测：1）布局多款产品，有望进一步打开市场空间。公司已推出的设备对应的市场规模占2022 年全球量检测设备总市场规模的27.2%，正在研发多款新产品所对应的市场规模占比将达到62.6%。2）细分产品领域填补大陆空白，性能对标海外龙头。中科飞测攻克了20-14nm产线晶圆缺陷光学检测设备，无图形晶圆缺陷检测设备S2 已部分取代KLA的Surfscan SP3 产品。公司三维形貌量测设备C2 也已实现对帕克公司NXWafer 产品的部分替代。

    中芯国际等大客户认可度高、粘性强，充分受益于国产替代公司在手订单高增，产品陆续进入大陆主流集成电路厂商生产线，客户包括中芯国际、华润微、长江存储等头部厂商。SEMI 预计2024 年，中国将新增18 座新晶圆厂，产能将从760 万片增至860 万片，据我们测算，2024年中国本土厂商资本开支有望同比增长17.7%至295 亿美元，看好中科飞测作为国产量检测设备重要供应商份额提升及业绩释放。

    风险提示：半导体下行周期风险；中美贸易摩擦；行业竞争加剧。

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