事件：公司发布2023 年前三季度业绩预告，预计2023 年前三季度营业收入9.7-10.7 亿元，同比增长152%至178%。

    　　单三季度营收增长超预期，在手订单充足保障业绩23Q3 预计营收5.9-6.9 亿元，同比增长156%-200%，23Q3 营收中值6.4 亿元，同比增长179%。23 年上半年新签订单高增长，目前在手订单充足。截至23H1，公司在手设备订单约62.5 亿，其中光伏设备订单56.2 亿，半导体设备订单5.5 亿元。据我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约40 亿，半导体设备新增订单约3 亿。

    　　半导体设备：构建ALD+CVD 双技术平台，已推出多款CVD 设备公司形成了ALD 技术为核心，CVD 等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD 设备等。ALD 设备方面，TALD、PEALD均有成熟机型，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示领域获得订单，未来有望继续多点开花。已推出多款CVD 设备，PECVD 设备可沉积SiO2、SiN、Lok 等，LPCVD 设备可沉积SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN 等。2023 年7 月首台CVD 设备已发货至客户端。

    　　光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon 整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，率先将ALD 技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条GW 级PE-PolyTOPCon 电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于BC 电池的ALD 设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现，新型电池设备有望接力发展。

    　　半导体薄膜沉积设备国产化率低，外部制裁下国产替代需求迫切ALD 设备是先进制程核心设备之一，美国、荷兰均将ALD 设备纳入管制半导体出口管制范围，当前国产化需求迫切。2022 年ALD 设备国产化率不足2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。随着公司由ALD 向CVD 设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由50 亿元扩展至300 亿元市场。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。

    　　盈利预测：预计2023-2025 年营收为15.0、33.8、44.9 亿元，同比增长118%、126%、33%，归母净利润1.5、3.9、5.3 亿元，同比增长182%、157%、34%，对应PE 为122、48、36 倍。维持“增持”评级。

    　　风险提示：新产品验证进度不及预期风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险

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